檢漏技術在真空領域占有非常重要的地位，它關系到真空設備的各項真空指標，如何快速地找到漏點關系到企業(yè)的生產(chǎn)效率與經(jīng)營成本。氦質譜檢漏儀是第二次期間快速發(fā)展起來的一種高精度檢漏儀，其靈. 敏度高達10-15pa:m3/s。當今常見的氦質譜檢漏儀靈敏度在10-9 ~10-13pa.m3/s。氦質譜檢測技術以其靈敏度高、速度快、使用安全、適用范圍廣以及可以量化漏點的漏率等特點，在航空、航天、汽車和電力行業(yè)得到了廣泛的應用，與其他諸多傳統(tǒng)檢漏方法相比，氦質譜檢漏具有的技術優(yōu)越性。采用氦質譜檢漏技術，可以實現(xiàn)飛機機翼整體油箱滲漏點的快速定位檢測與修補，保證機翼 翼盒的高質量、率裝配。
真空檢漏的具體方法 為了方便說明真空檢漏方法,我們以真空爐為例進行真空檢漏。真空爐主要由機械泵、羅茨泵、擴散泵、前級管路、爐體等幾部分組成。真空爐的生產(chǎn)中為常見問題是極限壓力合格，而升壓率不合格，或者是兩者都不合格，比較少見的是升壓率合格但極限壓力不合格。 (1)極限壓力合格,升壓率不合格 極限壓力合格說明設備沒有明顯漏點，且真空系統(tǒng)的抽氣性能正常。升壓率不合格，主要原因是從粗抽閥到爐體有-些較小的漏點，通常在1x10-9~9.9x104pa.m3/s之間。
氦質譜檢漏主要領域：冶金——真空電爐；低溫與壓力容器——液氮和液氦儲存罐、生物制品容器及各類壓力容器；輕工產(chǎn)品——保溫杯、太陽能集熱管、飲料罐口等。氦質譜檢漏主要領域：電力工業(yè)——高壓開關、避雷器、發(fā)電廠冷凝器系統(tǒng)；電力工業(yè)——電子器件、半導體、傳感器和積成電路；氦質譜檢漏主要領域：原子能工業(yè)——氣體擴散處理系統(tǒng)；高能物理研究院——及其配件；
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